Пти 10 течеискатель руководство по эксплуатации

 

Течеискатель гелиевый масс-спектрометрический ПТИ-10, разработан коллективом завода «Измеритель» в Ленинграде. Гелиевый масс-спектрометрический течеискатель ПТИ-10 предназначен для испытаний на герметичность различных систем и объектов, допускающих откачку внутренней полости, а также заполненных гелием или смесью, содержащей гелий, и обнаружения мест нарушения герметичности (течей).

Течеискатель ПТИ-10 является универсальным прибором, рассчитанным на все виды контроля герметичности с применением гелия в качестве пробного газа. Погрешность определения течи данным прибором не нормируется.

Основные области применения:

— контроль герметичности электровакуумных и полупроводниковых приборов;

— контроль герметичности всех видов вакуумных систем и вакууммированных объектов в процессе их изготовления и эксплуатации;

— контроль герметичности различных герметизированных неоткачиваемых объектов, изделий и пр.;

Технические данные

1. Минимальный поток гелия без дросселирования откачки — не более 7*10-12 м3Па / с.

2. Минимальный поток гелия с дросселированием откачки, не более 7*10-13 м3Па / с.

3. В течеискателе имеются стрелочный индикатор течи, акустический индикатор с регулировкой громкости и порога срабатывания и световой индикатор. Имеется выход на электронный автоматический потенциомер.

4. Допускается непрерывная работа в течении 24 часов, включая время прогрева.

5. Мощность потреления – не более 900ВА

6. Наработка на отказ – 1500 часов.

7. Габаритные размеры – 1400*675*620 мм

8. Вес – 170кг.

Проблемы гелиевого течеискателя ПТИ-10

Хороший, надежный прибор. При достаточной квалификации персонала, течеискатель ПТИ-10 обычно не вызывает проблем.  На сегодня морально устарел с точки зрения удобства эксплуатации. 

Сотрудники НПО «Геликон» принимали непосредственное участие в разработке и производстве гелиевых течеискателей ТИ1-22 «Гелмасс» и всегда готовы ответить на ваши вопросы. 

Комплектующие, запасные части и дополнительные опции для гелиевого течеискателя ПТИ-10

— Катоды для гелиевого течеискателя термоэмиссионные прямонакальные (аналог ех5.320.012). Подробнее…

— Щуп металлокерамический «FlexyProbe»  для гелиевого течеискателя (аналог ТФИЯ.408861.006-05 и ТФИЯ.408861.006-06). Подробнее…

— Набор для обдува гелием. Подробнее…

— Ловушка азотная для гелиевого течеискателя. Подробнее…

Ремонт и обслуживание гелиевого течеискателя ПТИ-10

Чистка вакуумной системы течеискателя, замена катодов, клапанов, ремонт ФВН и ТМН стали для нас привычной работой. Узнать подробнее…

Модернизация гелиевого течеискателя ПТИ-10

Замены форвакуумного и турбомолекулярного насосов, интеграция в систему управления технологическими процессами. Узнать  подробнее…

Течеискатель гелиевый ТИ1-50 «ГелиТест»

В том случае, если Ваш течеискатель «умер» и не подлежит восстановлению, предлагаем Вам нашу новую разработку — гелиевый масс-спектрометрический течеискатель ТИ1-50М «ГелиТест».  Узнать подробнее…

Время на прочтение
4 мин

Количество просмотров 13K

Здравствуйте. Сегодня я хотел бы вам рассказать о замечательной профессии — вакуумщик. Так же мы познакомимся с весьма любопытным и сложным прибором предназначенным для локализации микротечей.
Гелиевый масс-спектрометрический течеискатель ПТИ-10 создан для испытаний на герметичность всевозможных систем и объектов, допускающих  откачку внутренней полости(вакуумирование), а также заполненных чистым гелием или газовоздушной смесью, содержащей гелий.

 Под системами подразумевается например вакуумная рубашка криогенного трубопровода, вакуумной камеры для испытания космических аппаратов или  установка для напыления.

Течеискатель ПТИ-10 является универсальным, рассчитанным на все виды контроля герметичности прибором, с применением гелия в качестве пробного газа.(почему гелий будет рассказано ниже)
Так как погрешность определения величины течи данным прибором зависит от прямоты рук оператора, геометрических форм исследуемого объекта, откачных средств, влажности или температуры, то она не нормируется.

Для того чтобы понять, зачем нужно городить целый шкаф на колесиках для поиска течей, рассмотрим размерность измеряемых величин.

Технические характеристики:
Минимальный регистрируемый поток гелия без дросселирования — не более 1*10^-11 м³ Па/с, а с дросселированием – 6.6*10^-13м³ Па/с.

Под дросселированием понимается уменьшение скорости откачки камеры масс-спектрометра для накопления пробного газа в анализаторе.

Поток 1 м³ * Па/с означает, что в объеме 1 м³  за 1 с  давление изменяется на 1 Па, а у нас при   1*10^-11 м³ Па/с.

Посчитаем, сколько это:

1м³=100см*100см*100см=1000000 см³
P=100000 Па(атмосферное давление в паскалях)

Значит, при давлении 1 атмосфера 1Па в 1м^3 займет по объемной доле 1000000100000=10 см³, но у нас не целый Паскаль, а его 1*10^-11 поэтому  1*10^-11 * 10 см³  = 1*10^-10  см³.

Стоит вспомнить что измерение производится еще и в секундах, то есть столь малый объем еще и  втекает за секунду. Как же он может регистрироваться и измеряться?

  Ответ  прост и сложен одновременно. С одной стороны принцип состоит в уменьшении  плотности иных газов (чем  «тяжелее» газ, тем проще его откачать) и точном  направлении ионов гелия в анализатор (мишень масс-спектрометра), а с другой стороны, реализация сложна и содержит приличное количество не очевидных подводных камней.

 Начнем с разбора принципа работы.
 Чтобы понять, герметичен объект ли объект, его накачивают гелием и помещают в промышленную вакуумную камеру, например такую или домашнего пользования.

 

Или вакуумируют образец(если это возможно) и обдувают его потоком гелия. В любом случае при наличии течей гелий попадает в откачную систему состоящую из каскада различных вакуумных насосов.

Вот, наконец, образцы пробного газа у входа в течеискатель, что происходит дальше?  А ничего, потому что сначала нужно открыть входной вентиль и плавно выровнять давление в течеискателе и откачном патрубке. Если его открыть слишком быстро, а вакуум в патрубке будет ощутимо хуже, чем в течеискателе, то вскипит азотная ловушка и временно выйдет из строя камера масс-спектрометра. Но обо все по порядку.

Снимем заднюю крышку и заглянем  внутрь.

В схематичном виде это выглядит так.

Остаточная атмосфера из исследуемого объекта проходит входной фланец и оказывается в азотной ловушке, где из вакуума вымораживаются остаточные пары воды (они есть почти всегда).

Азотная ловушка это место соприкосновения вакуума и криогенных температур (обычно это герметичная емкость, в которую вварена колба для наливания криогенной жидкости)

После этого гелий в основном уходит в паромасляный насос (так как там вакуум лучше, а значит давление чуть, но меньше).

Паромасляный вакуумный насос откачивает атмосферу сверхзвуковой струей раскаленного масляного пара, захватывая и не выпуская.

П после этого в роторно-пластинчатый насос и на улицу:

Роторно-пластинчатый насос за счет вращения схватывает и сжимает остаточную атмосферу выдавливая ее на улицу.

Но остальная часть гелия попадает в масс-спектрометр. Здесь и начинается самое интересное.

Масс-спектрометрия в ПТИ-10 предполагает наличие носителя заряда и отношения массы к заряду ионов, получающихся при ионизации пробного газа. Пробным газом выступает гелий, так как у него мала энергия первичной ионизации и его естественная распространенность в атмосфере стремится к нулю.

Рассмотрим камеру масс-спектрометра

Как видите, здесь всего 3 функциональных элемента, но каждый из них хитер и опасен.

Электронная пушка — это маленький ускоритель заряженных частиц (извините за качество, иных образцов фото не осталось).

Сверху, на щелью установлен вольфрамовый катод, нагревающийся в процессе эксплуатации до 700-1000 С, при нагревании до такой температуры он образует вокруг себя поток электронов частично попадающих в щель. Под щелью располагается камера электронной пушки, в которой и происходит таинство ударной ионизации электроном атома гелия(прочих тоже, но в меньшей степени).

Катоды

Ну вот, мы ионизировали гелий — что дальше?

Дальше он разгоняется через «дуло» пушки разностью потенциалов до 400В (катодом является камера, а анодом рамка перед камерой) и вылетает за границы электронной пушки.

Теперь, по идее, он должен лететь вперед и бесславно погибнуть разбившись о стену, но его спасает направляющая  магнитная система масс-спектрометра. Точнее его спасает сила Лоренца , заставляющая его двигаться по дуге к сепаратору.

Сепаратор представляет собой металлическую пластину с прямоугольным отверстием, находящимся на расчетной дуге движения иона гелия. Получается, что только гелий пролетает сквозь отверстие в сепараторе (остальные из за большей массы не успевают повернуть и гибнут).

Иногда магнитная система сбивается и приходится делаю юстировку, меняя ее положение относительно камеры масс-спектрометра и направляя таким образом поток ионов.

Далее ион попадает в мишень, создает ионный ток, усиливается ламповым и транзисторными каскадами и отображается на вольтметре  в головном блоке индикации (так же есть блоки, управляющие клапанами, питанием камеры, индикации давления в разных частях системы).

Не расстраивайтесь, у нас работают не только советскими образцами (они просто неубиваемые и ремонтируются на ходу), Вот, например, образец одной питерской конторы.

Все автоматизировано (защита от дурака восхищает) и добавлена удобная система индикации (извините за качество, работали без света).

Вместо паромасляного насоса там живет турбомолекулярный.

Спрашивайте и поправляйте, если нужно дополню статью фото.

4. Порядок работы с гелиевым течеискателем ПТИ-10

Расположение органов управления

Ниже указывается расположение и назначение органов управления и присоединения течеискателя.

Панель управления:

пакетный выключатель «СЕТЬ» — «ВКЛ.» — «ВЫКЛ.» — для включения и выключения течеискателя;

кнопка «ПАРОМАСЛЯНЫЙ НАСОС — ОТКАЧКА» — для открытия клапана «ОТКАЧКА ПАРОМАСЛЯНОГО НАСОСА»;

тумблер «НАГРЕВАТЕЛЬ» — для включения нагревателя паромасляного насоса;

кнопка «ДЕБЛОКИРОВКА» — для включения накала катода ионного источника после срабатывания вакуумной блокировки;

ручки трех клапанов, назначение которых описано в разделе 3 (рисунок 8).

Рисунок 8 — Вакуумные вентили на панели управления.

Блок измерения ионного тока (рисунок 9):

ручка резистора «УСТАНОВКА НУЛЯ» — для установки электрического нуля усилителя;

переключатель «ПРЕДЕЛЫ ИЗМЕРЕНИЯ» — для переключения предела измерения выходного прибора;

переключатель «КОМПЕНСАЦИЯ ГРУБО» — для включения компенсирующего напряжения;

ручка резистора «КОМПЕНСАЦИЯ ПЛАВНО» — для плавной регулировки компенсирующего напряжения;

ось резистора «ЧАСТОТА» — для регулировки уровня срабатывания акустического индикатора;

ручка резистора «ГРОМКОСТЬ» — для регулировки громкости акустического индикатора.

Рисунок 9 — Панель управления блока измерения ионного тока.

Блок питания камеры (рисунок 10):

ось резистора «УСКОРЯЮЩЕЕ НАПРЯЖЕНИЕ» — для плавной регулировки ускоряющего напряжения;

ось резистора «СУПРЕССОРНОЕ НАПРЯЖЕНИЕ» — для плавной регулировки супрессорного напряжения;

переключатель «ТОК ЭМИССИИ» — для включения накала катода ионного источника и ступенчатой регулировки тока эмиссии;

переключатель «ИЗМЕРЕНИЕ» — для включения выходного прибора блока в одну из измерительных цепей «СУПРЕССОРНОЕ НАПРЯЖЕНИЕ — УСКОРЯЮЩЕЕ НАПРЯЖЕНИЕ — ТОК ЭМИССИИ».

Рисунок 10 — Блок питания камеры.

Блок измерения давления (рисунок 11):

Рисунок 11 — Блок измерения давления.

переключатель «ПМТ-4М — «ВНЕШ. — ВНУТР.» — для подключения измерительной цепи к внешнему или внутреннему преобразователю ПМТ-4М;

кнопка «ТОК НАГРЕВАТЕЛЯ ПМТ-4М — НАЖАТЬ» — для измерения тока нагревателя;

ось резистора «ТОК НАГРЕВАТЕЛЯ ПМТ-4М — для плавной регулировки тока нагревателя;

тумблер «ФОРВАКУУМ — ВЫСОКИЙ ВАКУУМ» — для коммутации выходного прибора из схемы измерения давления преобразователем ПМТ-4М в схему измерения давления вакуумным датчиком.

Запуск течеискателя

Выключатель «СЕТЬ» установить в положение «ВКЛ.». При этом должны начать работать вакуумный насос и вентилятор паромасляного насоса, а также должны загореться индикаторы включения сетевого напряжения на лицевых панелях блока измерения ионного тока, блока питания камеры и блока измерения давления. Вход течеискателя соединен с испытуемым объектом, отсеченным от течеискателя дополнительным вакуумным вентилем.

Откачать объем до давления (3 — 5)•10^-2 мм рт.ст. (по верхней шкале выходного прибора блока измерения давления, рисунок 11).

Нажать (и отпустить) кнопку клапана «ОТКАЧКА ПАРОМАСЛЯНОГО НАСОСА» на панели управления, при этом должен загореться индикатор «ПАРОМАСЛЯНЫЙ НАСОС — ОТКАЧКА». Откачать объем паромасляного насоса до давления (3 — 5) •10^-2 мм рт.ст.

Открывая последовательно клапаны «ДРОССЕЛИРОВАНИЕ ОТКАЧКИ», «ОТКАЧКА КАМЕРЫ», «ВХОДНОЙ КЛАПАН» и «ГЕЛИЕВАЯ ТЕЧЬ”, откачать всю вакуумную систему течеискателя до давления (3 — 5) •10^-2 мм рт.ст.

Закрыть клапаны «ОТКАЧКА КАМЕРЫ», «ДРОССЕЛИРОВАНИЕ ОТКАЧКИ» и «ГЕЛИЕВАЯ ТЕЧЬ» и «ВХОДНОЙ КЛАПАН».

Клапан «БАЙПАСНАЯ ОТКАЧКА КАМЕРЫ» открывается только после вскрытия камеры в работающем течеискателе. В процессе работы течеискателя он всегда закрыт.

Тумблер «ПАРОМАСЛЯНЫЙ НАСОС — НАГРЕВАТЕЛЬ» (на панели управления) установить в верхнее положение, при этом должен загореться световой сигнал «ПАРОМАСЛЯНЫЙ НАСОС»

Через 30 — 40 минут залить в азотную ловушку жидкий азот через воронку, имеющуюся в комплекте течеискателя и открыть клапан «ДРОССЕЛИРОВАНИЕ ОТКАЧКИ». Тумблер «ФОРВАКУУМ — ВЫСОКИЙ ВАКУУМ» установить в положение «ВЫСОКИЙ ВАКУУМ». Откачать вакуумную систему течеискателя до давления (1 — 3) •10^-5 мм рт.ст., соответствующего 5 — 20 делениям средней шкалы стрелочного прибора блока измерения давления (рисунок 11).

Открыть клапан «ВХОДНОЙ КЛАПАН» и «ГЕЛИЕВАЯ ТЕЧЬ» (на входе течеискателя установлена заглушка) и откачать гелиевую течь до давления, соответствующего 5-20 делениям средней шкалы блока измерения давления. Закрыть клапан «ГЕЛИЕВАЯ ТЕЧЬ» и «ВХОДНОЙ КЛАПАН».

Открыть клапан «ОТКАЧКА КАМЕРЫ», откачать камеру до давления, соответствующего 3 делениям (не более!) средней шкалы стрелочного прибора блока измерения давления (рисунок 11).

Отрегулировать нуль усилителя блока измерения ионного тока на всех шкалах, устанавливая переключатель «ПРЕДЕЛЫ ИЗМЕРЕНИЯ» последовательно в положения «30V», «10V», «3V», «1V», «0,3V» и «0,1V», и резистором «УСТАНОВКА НУЛЯ» установить стрелку прибора блока измерения ионного тока на нуль. Переключатель «ПРЕДЕЛЫ ИЗМЕРЕНИЯ» вернуть в положение “30V».

Нажать кнопку «ДЕБЛОКИРОВКА».

ВНИМАНИЕ! ПЕРЕД ВКЛЮЧЕНИЕМ НАКАЛА КАТОДА ИОННОГО ИСТОЧНИКА НЕОБХОДИМО ПРОВЕРИТЬ, ОТКРЫТ ЛИ КЛАПАН «ОТКАЧКА КАМЕРЫ». ВКЛЮЧЕНИЕ НАКАЛА КАТОДА ИОННОГО ИСТОЧНИКА ПРИ ЗАКРЫТОМ КЛАПАНЕ «ОТКАЧКА КАМЕРЫ» ПРИВОДИТ К СГОРАНИЮ КАТОДА.

Подать накал на катод ионного источника масс-спектрометрической камеры. Для этого переключатель «ИЗМЕРЕНИЕ» установить в положение «ТОК ЭМИССИИ» и переключатель «ТОК ЭМИССИИ» — в положение «0,5 мA». Через 10 — 20 с. стрелка выходного прибора блока питания камеры должна отклониться на середину шкалы.

Проверить величину ускоряющего и супрессорного напряжений. Величина ускоряющего напряжения порядка 400 В. Величина супрессорного напряжения, в зависимости от величины остаточного фона, может лежать в широких пределах от 40 до 100 В и более.

Ускоряющее и супрессорное напряжения контролируются выходным прибором блока питания камеры в соответствующих положениях переключателя «ИЗМЕРЕНИЕ».

Окончательная регулировка ускоряющего напряжения, подстройка супрессорного напряжения и корректировка расположения магнитной системы производится по сигналу от гелиевой течи.

Выключение течеискателя

Для выключения течеискателя необходимо: закрыть клапаны «ГЕЛИЕВАЯ ТЕЧЬ» и «ВХОДНОЙ КЛАПАН»; переключатель «ПРЕДЕЛЫ ИЗМЕРЕНИЯ» установить в положение «30 V»;

переключатель «ТОК ЭМИССИИ» установить в положение «КАТОД ВЫКЛЮЧЕН»;

закрыть клапан «ОТКАЧКА КАМЕРЫ»; сифоном (толстостенной медной трубкой с герметичной пробкой) удалить жидкий азот из азотной ловушки;

выключить накал нагревателя паромасляного насоса (тумблер «ПАРОМАСЛЯНЫЙ НАСОС — НАГРЕВАТЕЛЬ» установить в нижнее положение);

через 30 мин после охлаждения паромасляного насоса и отогрева азотной ловушки закрыть клапан «ДРОССЕЛИРОВАНИЕ ОТКАЧКИ», проверить, что все остальные вакуумные клапана в системе закрыты и выключить напряжение питающей сети, установив выключатель «СЕТЬ» в положение «ВЫКЛ.», при этом автоматически открывается электромагнитный клапан напуска атмосферы в форвакуумный насос

5. Практические упражнения

Упражнение 1. Настройка на «пик гелия»

Целью данного упражнение является получение практических навыков настройки масс-спектрометрической камеры гелиевого течеискателя на «пик гелия» путем варьирования ускоряющего напряжения, а также оптимальной настройки течеискателя на максимальную чувствительность. Настройка на максимальную чувствительность осуществляется поиском баланса между ускоряющим и супрессорным напряжением с целью подавления фонового сигнала.

Запустить течеискатель и привести в рабочее положение, как описано в главе «Запуск течеискателя«. На входе течеискателя установлена заглушка. Переключатель «ТОК ЭМИССИИ» установить в положение «КАТОД ВЫКЛЮЧЕН», закрыть клапан «ОТКАЧКА КАМЕРЫ». Медленно открывать «ВХОДНОЙ КЛАПАН» не допуская роста давления выше 50 делений средней шкалы стрелочного прибора блока измерения давления (рисунок 11). Открыть «ВХОДНОЙ КЛАПАН» до конца.

Открыть клапан «ГЕЛИЕВАЯ ТЕЧЬ». При этом гелий из гелиевой течи попадает в масс-спектрометрическую камеру.

Открыть клапан «ОТКАЧКА КАМЕРЫ», откачать камеру до давления, соответствующего 3 делениям (не более!) средней шкалы стрелочного прибора блока измерения давления (рисунок 11). В случае срабатывания защиты и появления сигнала «ПЛОХОЙ ВАКУУМ» перед последующим включением катода нажать кнопку «ДЕБЛОКИРОВКА». Переключатель «ПРЕДЕЛЫ ИЗМЕРЕНИЯ» установить в положение «30 V». Подать накал на катод ионного источника масс-спектрометрической камеры. Для этого переключатель «ИЗМЕРЕНИЕ» установить в положение «ТОК ЭМИССИИ» и переключатель «ТОК ЭМИССИИ» — в положение «0,5 мA». Через 10 — 20 с. стрелка выходного прибора блока питания камеры должна отклониться на середину шкалы.

Записать первоначальные значения ускоряющего и супрессорного напряжений. Ускоряющее и супрессорное напряжения контролируются выходным прибором блока питания камеры в соответствующих положениях переключателя «ИЗМЕРЕНИЕ».

Выбирая удобные для отсчета шкалы выходного прибора блока измерения ионного тока, закрывая и открывая клапан «ГЕЛИЕВАЯ ТЕЧЬ», произвести предварительную регулировку ускоряющего и супрессорного напряжений в следующем порядке:

открыть клапан «ГЕЛИЕВАЯ ТЕЧЬ» и после установления сигнала резистором «УСКОРЯЮЩЕЕ НАПРЯЖЕНИЕ» настроиться на «пик гелия» — максимальное отклонение стрелки выходного прибора блока измерения ионного тока;

закрыть клапан «ГЕЛИЕВАЯ ТЕЧЬ» (если сигнал не спадает — значит это не «пик гелия», открыть еще раз клапан «ГЕЛИЕВАЯ ТЕЧЬ» и настроиться на «пик гелия»);

резистором «СУПРЕССОРНОЕ НАПРЯЖЕНИЕ» настроиться на минимальное значение фонового сигнала;

Открывая и закрывая клапан «ГЕЛИЕВАЯ ТЕЧЬ», резисторами «УСКОРЯЮЩЕЕ НАПРЯЖЕНИЕ» и «СУПРЕССОРНОЕ НАПРЯЖЕНИЕ» добиться максимальной разности между величиной сигнала, соответствующего «пику гелия», и фоновым сигналом.

В ходе выполнения упражнения записывать значения ускоряющего напряжения, супрессорного напряжения, величины фонового значения и сигнала от гелиевой течи. Результаты представить в виде таблицы.

Упражнение 2. Определение минимального потока гелия, регистрируемого течеискателем и цены деления выходного прибора

Целью данного упражнения является калибровка гелиевого течеискателя по сигналу встроенной калиброванной течи, а также определение минимального потока гелия, регистрируемого течеискателем. Поскольку, чувствительность течеискателя зависит от степени загрязнения масс-спектрометрической камеры, данная процедура является неотъемлемой частью поиска течей в реальных вакуумных и криогенных системах.

Запустить течеискатель и привести в рабочее положение, как описано в главе «Запуск течеискателя«. Настроить течеискатель на «пик гелия» (см. упражнение 1).

Переключатель «ПРЕДЕЛЫ ИЗМЕРЕНИЯ» установить в положение «30 V».

Открыть клапан «ГЕЛИЕВАЯ ТЕЧЬ». Выбрав удобную для отсчета шкалу выходного прибора блока измерения ионного тока, определить установившееся значение величины сигнала от гелиевой течи (α_т0).

Закрыть клапан «ГЕЛИЕВАЯ ТЕЧЬ» и определить величину фонового сигнала (α_ф0).

Определить минимальный поток гелия Q_мин0 регистрируемый течеискателем, по формуле (8):

мбар•л/с , (8)

где Q_T — величина потока гелиевой течи (по маркировке на корпусе течи), мбар•л/с.

Цена деления выходного прибора блока измерения ионного тока течеискателя соответствует:

мбар•л/с•мВ , (9)

Повторить измерения не менее трех раз, записать полученные значения минимального потока гелия, регистрируемого течеискателем и цены деления выходного прибора. Результаты представить в виде таблицы.

Упражнение 3. Проведение вакуумных испытаний на герметичность

Целью данного упражнения является отработка практических навыков поиска негерметичностей в вакуумных и криогенных системах и коммуникациях, порядка обдува испытуемых систем газообразным гелием, оценки величины найденных течей.

Перед выполнением данного упражнения следует ознакомиться с методическими рекомендациями, приведенными в приложении 4.

Вход течеискателя соединен с испытуемым объектом, отсеченным от течеискателя дополнительным вакуумным вентилем; испытуемый объект и все соединительные коммуникации предварительно откачаны;

Запустить течеискатель и привести в рабочее положение, как описано в главе «Запуск течеискателя«. Настроить течеискатель на «пик гелия» (см. упражнение 1). Выключить катод.

Плавно открывая входной клапан течеискателя и дополнительный вакуумный вентиль на входе в испытуемый объект, соединить вакуумную систему течеискателя с испытуемым объектом. Убедиться, что вакуум в системе течеискателя достаточен (не более 20 — 30 делений средней шкалы выходного прибора блока измерения давления). Нажать кнопку «ДЕБЛОКИРОВКА».

Включить накал катода ионного источника (проверить, открыт ли клапан «ОТКАЧКА КАМЕРЫ»).

Переключатель «ТОК ЭМИССИИ» на панели блока питания камеры установить в положение «0,5 мА». Ток эмиссии устанавливается через 10 — 20 с. после включения накала катода ионного источника.

Следует обратить внимание, что чувствительность испытаний не идентична чувствительности течеискателя, поэтому для оценки величины натекания испытуемых объектов необходимо определить цену деления выходного прибора блока измерения ионного тока в конкретных условиях проведения испытания, т.е. при присоединенном испытуемом объекте в выбранном режиме испытаний и откачки.

Открыть клапан «ГЕЛИЕВАЯ ТЕЧЬ». Выбрав удобную для отсчета шкалу выходного прибора блока измерения ионного тока, определить установившееся значение величины сигнала от гелиевой течи (α_т).

Закрыть клапан «ГЕЛИЕВАЯ ТЕЧЬ» и определить величину фонового сигнала (α_ф). Определить минимальный поток гелия Q_мин регистрируемый течеискателем, по формуле (10):

мбар•л/с, (10)

где Q_T — величина потока гелиевой течи (по маркировке на корпусе течи), мбар•л/с

Цена деления выходного прибора блока измерения ионного тока течеискателя соответствует:

мбар•л/с•мВ , (11)

Приступить к поиску течей постепенно обдувая испытуемый объект гелием в направлении «сверху-вниз» и приближаясь от дальней точки испытуемого объекта к течеискателю.

Оценить величину натекания (размер течи) сравнивая сигнал от найденной течи в испытуемом объекте с калиброванной гелиевой течью.

Величина натекания оценивается по формуле (12):

мбар•л/с , (12)

где S_q — цена деления наиболее чувствительной шкалы выходного прибора блока измерения ионного тока, мбар•л/с•мВ;

α_Г — сигнал по стрелочному прибору блока измерения ионного тока, обусловленный натеканием гелия из испытуемого объекта, мВ;

α_Ф — фоновый сигнал течеискателя по стрелочному прибору блока измерения ионного тока, мВ.

Повторить оценку величины течи не менее трех раз, записать полученные значения величины течи, минимального потока гелия, регистрируемого течеискателем в режиме измерения и цены деления выходного прибора в режиме измерения. Результаты представить в виде таблицы. Сравнить полученные значения минимального потока гелия, регистрируемого течеискателем в режиме измерения и цены деления выходного прибора в режиме измерения с параметрами, полученными ранее при выполнении упражнения 2. Зарисовать схему подключения испытуемого объекта и отметить найденные течи на схеме.

Искать в

• Везде
  

• Файлы
  

• Эта категория
  

• Этот файл
  

• 
  Ещё…
  

Поиск контента, содержащего…

• Все слова запроса
  

• Любое слово запроса
  

Поиск результатов в…

• Заголовки и содержание контента
  

• Только заголовки контента